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发明 一种有机单晶微米带P-N异质结阵列的生长方法【特价15】
半导体器件 光学器件 半导体芯片 芯片制造 晶圆加工 光刻 1人
C30B29/54 C30B7/00 H01L21/8238
摘要:本发明提供了一种有机单晶微米带P‑N异质结阵列的生长方法。该方法包括:提供一基底,并对基底进行光刻以获得负性的光刻胶阵列;利用疏水型的单分子层溶液对光刻胶阵列进行修饰,以获得光刻胶模板;将光刻胶模板按照竖向放置的方式浸入N型材料的溶液中,直至光刻胶模板完全浸入N型材料的溶液后取出光刻胶模板,以在光刻胶模板上形成N型单晶微米带;将光刻胶模板按竖向放置的方式浸入P型材料的溶液中,直至光刻胶模板完全浸入P型材料的溶液后取出光刻胶模板,以在光刻胶模板上形成P型单晶微米带,从而形成有机单晶微米带P‑N异质结阵列。制备的微米带P‑N异质结阵列均为单晶材料,且可以准确定位生长具有上下叠层结构的P‑N异质结。
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  • 03-07

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