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发明 一种采用激光干涉原理的实时波长检测装置及其使用方法【特价】
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G01J9/02
摘要:本发明涉及激光波长测量技术领域,提出一种采用激光干涉原理的实时波长检测装置及其使用方法,包括读数头、三角波反射镜,所述读数头包括激光器、分光镜、反射镜、聚光透镜、光电探测器、处理器。本方案仅使用可数的光学器件,即可完成对待测激光束波长的测量,将三角波反射镜或读数头的水平位移量或垂直位移量转化为激光束多倍光程差的变化,在保证激光束波长测量精度的情况下,还简化了激光波长测量装置的复杂性。
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  • 03-07

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