|
申请号 | 专利名称 | 专利状态 | 申请日 | 缴费截止日 | 授权日 | 更新日 |
---|---|---|---|---|---|---|---|
|
202220957549X |
实用
一种用于探针机的晶圆承载台
晶圆承载台 探针台 半导体 光电 集成电器 1人 G01R1/04 G01R31/28 H01L21/66 H01L21/687 |
已下证 |