发明 带有折射镜的可提高放大倍数的位移传感器及其测量方法
传感器 【传感器】 传感器 测量 折射镜 【传感器 测量 折射镜】 2人
G01B11/02
摘要：本发明提供了一种带有折射镜的可提高放大倍数的位移传感器及其测量方法，该位移传感器包括激光源，用于发射出激光束，且所述激光束入射至三角波反射镜的一个反射面；反射镜组，包括至少两个反射镜，所述反射镜用于接收对应反射面反射的激光束，并使接收的激光束再次发生反射；所述反射面，使激光源发射的激光束或反射镜反射的激光束再次发生反射；折射镜，用于接收经反射面反射且不再被反射镜组接收的激光束，并使得激光束发生折射；光电探测器，用于接收经折射镜折射的激光束，并测量其入射位置。本发明通过折射镜的设置，降低激光入射至光电探测器的角度，因此位移传感器可以进一步提高位移测量精度。
