发明 带有折射镜的差分式位移传感器及其测量方法
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G01B11/02
摘要：本发明提供了一种带有折射镜的差分式位移传感器及其测量方法，该位移传感器，包括激光束，入射至三角波反射镜的反射面；分光镜组，包括分光镜和反光镜，且分光镜和反光镜呈一定夹角设置，且使得三角波反射镜的反射面反射的激光束入射至分光镜，一部分激光束先后经分光镜和反光镜反射后入射至折射镜一，另一部分激光束经分光镜透射后入射至折射镜二；处理系统，用于根据光电探测器一与光电探测器二接收到的激光束的入射位置变化量计算出被测物体的位移变化值。本发明带有折射镜的差分式位移传感器，通过折射镜一与折射镜二的设置，降低激光入射至光电探测器的角度，从而可以提高位移传感器的测量精度。
