发明 带有折射镜的光路一致式位移传感器及其测量方法
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G01B11/02
摘要：本发明提供了一种带有折射镜的光路一致式位移传感器及其测量方法，该带有折射镜的光路一致式位移传感器包括激光束，入射至三角波反射镜的第一反射面；反射镜，用于接收激光束被三角波反射镜的第一反射面反射的激光束，且使该激光束在激光束入射至同一个第一反射面的测量过程中，沿同一路径反射至三角波反射镜的第二反射面；折射镜，用于接收反射镜反射至三角波反射镜的第二反射面后经第二反射面反射的激光束，并使入射的激光束发生折射；光电探测器，用于接收经所述折射镜折射后的激光束，并测量其入射位置。本发明位移传感器，通过折射镜的设置，使得增加位移传感器放大倍数的同时，降低激光入射至光电探测器的角度。
