发明 一种P型异质结全背电极接触晶硅光伏电池及其制备方法
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H01L31/0747 H01L31/0216 H01L31/0236 H01L31/20
摘要:本发明公开了一种P型异质结全背电极接触晶硅光伏电池,包括P型硅基体、遂穿超薄氧化层、非晶硅N+层、氮化硅钝化膜、局域硼背场、金属正电极和金属负电极,所述P型硅基体的正面设置为绒面,所述P型硅基体的背面设置有遂穿超薄氧化层,所述遂穿超薄氧化层上设置有磷掺杂退火的非晶硅N+层,所述非晶硅N+层的外侧设置有氮化硅钝化膜,所述P型硅基体的背面设置有局域硼背场,所述局域硼背场穿透氮化硅钝化膜连接有金属正电极,所述非晶硅N+层上连接有金属负电极。本发明能够降低金属接触复合电流,提升电池的开路电压和短路电流,具有良好的钝化特性,提高了转换效率,提升了有效发电面积,利于提升发电效率,外观上也更加美观。