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实用 一种去除废钛图层的酸蚀处理装置(报过高企)
电子基板半导体 【电子基板半导体】 3人
C23F1/08 C23F1/26 C23F1/46
摘要:本实用新型属于废钛处理领域,尤其是一种去除废钛图层的酸蚀处理装置,针对现有的去除废钛图层的酸蚀处理装置在处理废钛时,处理不够彻底,且不便于对处理液进行再次回收,浪费了资源的问题,现提出如下方案,其包括底座,所述底座的顶部固定连接有处理箱,所述处理箱上设有箱门,所述处理箱内固定连接有隔板,所述处理箱的右侧分别设有进液管和电加热棒,所述电加热棒的左端延伸至处理箱内,本实用新型结构合理,操作便利,通过动力组件可以使搅拌轴和多个搅拌杆可以对废钛和酸蚀处理液进行搅拌,使得处理更加彻底,且可以对处理后的酸蚀处理液进行过滤处理,便于后续回收,节约了资源。
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  • 11-13
  • 11-08
  • 09-21

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