发明 一种半导体器件加工用激光切割设备及其切割方法
半导体 激光器 激光切割 光电 【半导体 激光器 激光切割 光电】 2人
B23K26/38 B23K26/70 B23K26/08
摘要:本发明涉及半导体器件加工技术领域,且公开了一种半导体器件加工用激光切割设备及其切割方法,包括定位组件,定位组件包括工作台,工作台内壁固定连接有电机,电机输出端固定连接有蜗杆,本发明在滑动杆向下移动的过程中,其会带动压杆并向下移动,并将空气推入导气软管一中,导气软管一会将空气通入导气板中,导气板会将空气通入导气软管二中,导气软管二会将空气通入固定块的内部,通入固定块中的空气向下推动压板,当压杆下移至一定的位置后,卡块会压缩弹簧五缩入激光发生器一中,压板会带动激光发生器一快速向下移动一段距离,而此时激光发生器一会与接头进行接触,进而可对激光发生器一通入电流,此时由激光发生器一进行切割的工作。