发布专利数据
检索到3件专利 批量导出勾选专利
申请号 专利名称 专利状态 申请日 缴费截止日 授权日 更新日
2021105148166 发明 一种量子芯片封装设备及其封装工艺
2人
H01L21/60 H01L21/66 H01L21/67 H01L21/677
授权未下证
202220957549X 实用 一种用于探针机的晶圆承载台
晶圆承载台 探针台 半导体 光电 集成电器 1人
G01R1/04 G01R31/28 H01L21/66 H01L21/687
已下证
2019105742301 发明 一种离子探测器及其制备方法
离子检测 半导体探测器 掺杂剂 离子能量检测 半导体材料 离子检测 半导体探测器 掺杂剂 离子能量检测 半导体材料 【离子检测 半导体探测器 掺杂剂 离子能量检测 半导体材料】 【 废品回收 建筑垃圾回收 】 【离子检测 半导体探测器 掺杂剂 离子能量检测 半导体材料 电子元件】 离子检测 半导体探测器 掺杂剂 离子能量检测 半导体材料 电子元件 1人
H01L21/66 G01R27/02
已下证