专利交易 - H01L21/66搜索结果-知交云专利交易平台

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序号	申请号	专利名称	专利状态
1	2020113029747	发明套刻对准标记和套刻误差测量方法【特价15】半导体芯片半导体器件集成电路光学器件芯片制造晶圆加工光刻 1人 H01L23/544 H01L21/66 G03F9/00 G01B15/04	已下证
2	2024107657465	发明一种晶圆缺陷检测装置及方法【需定金预留】晶圆半导体 1人 H01L21/66	授权未下证
3	2024105773033	发明一种基于物联网的光伏组件用生产装置及系统物联网光伏组件【物联网光伏组件】 1人 H01L31/048 H01L31/18 H01L21/66 H01L21/67 H04L67/12 G16Y40/10	授权未下证
4	2024102252693	发明一种半导体工件制作用检测系统及方法（半导体检测芯片集成电路电路板 pcb板）半导体检测芯片集成电路电路板 pcb板【半导体检测芯片集成电路电路板 pcb板】 2人 H01L21/66 H01L21/67 G01D21/00	授权未下证
5	202211043323X	发明一种石墨舟中硅片贴合状态检测装置及其使用方法（光伏设备光伏电池板光伏发电太阳能电池采用石墨舟作为载具）光伏设备光伏电池板光伏发电太阳能电池采用石墨舟作为载具【光伏设备光伏电池板光伏发电太阳能电池采用石墨舟作为载具】 2人 H01L21/66 H01L21/677 H01L21/687 H01L31/18	授权未下证
6	2018101435969	发明一种硅片清洗前的湿度保持机构（特价15）硅片清洗湿度保持机构芯片【硅片清洗湿度保持机构芯片】 2人 H01L21/67 H01L21/68 H01L21/66	已下证
7	2019105742301	发明一种离子探测器及其制备方法离子检测半导体探测器掺杂剂离子能量检测半导体材料离子检测半导体探测器掺杂剂离子能量检测半导体材料【离子检测半导体探测器掺杂剂离子能量检测半导体材料】【废品回收建筑垃圾回收】【离子检测半导体探测器掺杂剂离子能量检测半导体材料电子元件】离子检测半导体探测器掺杂剂离子能量检测半导体材料电子元件 1人 H01L21/66 G01R27/02	已下证
8	2018104568750	发明一种集成制造装置（集成电路集成芯片制造半导体电路板）【集成电路集成芯片制造半导体电路板】 1人 H01L21/67 H01L21/677 H01L21/66	已下证