发明 晶圆清洗回收机（电路板 PCB板 半导体 芯片 集成电路 晶片 晶圆） 优惠500特价
电路板 PCB板 半导体 芯片 集成电路 晶片 晶圆 【电路板 PCB板 半导体 芯片 集成电路 晶片 晶圆】 1人
H01L21/67
摘要：本发明涉及半导体制造附属装置的技术领域，特别是涉及一种晶圆清洗回收机，降低设备故障率，负荷小；提高搅拌效率；添加回收晶圆和清洗液过程较简单；包括筒体、一组第一搅拌叶、第一挡盖、第二挡盖和第一传动轴，进入口处和出料口处分别设置有第一挡盖和第二挡盖，筒体上方设置有电机，第一传动轴下半区域设置有一组第一搅拌叶；还包括工作箱、第一齿轮、第二齿轮和第二传动轴，电机输出端设置有第二传动轴；还包括上齿轮、下齿轮、上链条、下链条、左齿轮、右齿轮、左安装箱、右安装箱、左连接杆、右连接杆和一组第二搅拌叶；还包括挂钩、支撑块、固定销、下压杆、受力环、一组固定板、中心转轴、下连接杆和一组定位挡板。
